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小型等離子去膠機(jī)是現(xiàn)代微電子制造過程中不可少的設(shè)備之一

更新時間:2024-08-07點(diǎn)擊次數(shù):1513
  小型等離子去膠機(jī)是現(xiàn)代微電子制造過程中不可少的設(shè)備之一,主要用于清除半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器、電子器件等表面的光刻膠及其他有機(jī)聚合物殘留。
 
  1.基本原理
 
  -概述:主要利用氧氣或其他氣體在微波能量的作用下電離形成等離子體。這種等離子體富含高能活性粒子,這些粒子與光刻膠等有機(jī)物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),將其轉(zhuǎn)化為易揮發(fā)的簡單無機(jī)化合物如水蒸氣和二氧化碳,從而實(shí)現(xiàn)去除目的。
 
  -反應(yīng)過程:工作氣體(通常是氧氣)被激發(fā)成等離子態(tài),這些等離子體中的活性粒子與固體表面(如半導(dǎo)體晶片)上的有機(jī)聚合物接觸,通過高能粒子的物理沖擊和化學(xué)反應(yīng),使有機(jī)物分解并轉(zhuǎn)化為氣體分子,從真空系統(tǒng)中被抽走。
 
  2.應(yīng)用場景
 
  -半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,小型等離子去膠機(jī)用于去除晶片表面的光刻膠,為后續(xù)的擴(kuò)散、蝕刻或其他處理步驟做準(zhǔn)備。這是半導(dǎo)體制造過程中非常關(guān)鍵的清潔步驟,確保電路圖案的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移和芯片性能的可靠性。
 
  -光電器件制備:在液晶顯示(LCD)制備或者其他光電器件的生產(chǎn)過程中,去除多余光刻膠也是必須的步驟。小型等離子去膠機(jī)能夠高效地完成這一任務(wù),提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
 
  3.技術(shù)優(yōu)勢
 
  -高效率:與傳統(tǒng)的濕法去膠相比,能夠在較短的時間內(nèi)完成大量材料的處理,大幅提升生產(chǎn)效率。
 
  -環(huán)保性:由于整個去膠過程不涉及化學(xué)溶劑,因此更加環(huán)保。同時,產(chǎn)生的廢氣較易處理,對環(huán)境的影響小。
 
  4.潛在局限性
 
  -材料選擇性:不是所有的光刻膠都適合用氧等離子去膠機(jī)處理,比如一些厚度較大或化學(xué)穩(wěn)定性高的光刻膠如SU-8、PI等,可能需要添加氟基氣體來提高去膠效率。
 
  -成本問題:盡管小型等離子去膠機(jī)的原理和效果都非常先進(jìn),但其初期投資和維護(hù)成本相對較高,可能不適合所有生產(chǎn)線。
小型等離子去膠機(jī)
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